สรุป: การระเหยส่วนโค้ง PVD ผสมผสานอย่างสมบูรณ์แบบด้วยเทคโนโลยี MF สปัตเตอริงทำให้ได้ผลิตภัณฑ์เคลือบผิวที่มีคุณภาพสูงและใช้งานได้ดี
ทำไมต้อง MF Sputtering?
เมื่อเปรียบเทียบกับ DC และ RF sputtering Mid-Frequency Sputtering ได้กลายเป็นเทคนิคการสปัตเตอร์ฟิล์มบางหลักสำหรับการผลิตจำนวนมากของการเคลือบโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมฟิล์มของการเคลือบฟิล์มอิเล็กทริกและไม่นำไฟฟ้าบนพื้นผิวเช่นการเคลือบแสง ฟิล์มคอมโพสิตวัสดุ ฯลฯ
มันกำลังแทนที่ RF sputtering เนื่องจากทำงานด้วย kHz มากกว่า MHz สำหรับอัตราการสะสมที่เร็วกว่ามากและยังสามารถหลีกเลี่ยงพิษเป้าหมายในระหว่างการสะสมฟิล์มบาง ๆ เช่น DC
MF สปัตเตอร์มีเป้าหมายอยู่เสมอด้วยสองชุด สองแคโทดใช้กับกระแส AC สลับไปมาระหว่างกันซึ่งทำความสะอาดพื้นผิวเป้าหมายด้วยการกลับด้านแต่ละครั้งเพื่อลดประจุที่เกิดขึ้นบนไดอิเล็กตริกที่นำไปสู่การเกิดประกายไฟซึ่งสามารถพ่นหยดลงในพลาสม่า ซึ่งเป็นสิ่งที่เราเรียกว่าเป้าหมายการเป็นพิษ
ด้วยระบบ MF สปัตเตอร์เราสามารถรับสีกราไฟต์ข้อมูล LAB: (L: 30 ~ 35) A: -0.04, B: 08
คำสำคัญ: เครื่องใช้ไฟฟ้า PVD สำหรับตกแต่งเคลือบ, สแตนเลสสตีลตกแต่ง Flatware PVD,
เพิร์ลคำศัพท์เคลือบ PVD สูง, แหวนนิ้วชุบสีดำ, เครื่องมือทางการแพทย์เคลือบ DLC,
การกัดกร่อนและการสึกหรอฟิล์ม PVD, เครื่องดูดฝุ่นสูง
Royal Technology ได้ พัฒนา เครื่องจักรมาตรฐาน 3 เครื่องสำหรับกำลังการผลิตที่แตกต่างกันเพื่อตอบสนอง ความต้องการและการใช้งานของลูกค้า
| ข้อกำหนด ทางเทคนิคของเครื่องชุบสแตนเลสสตีล | |||
| แบบ | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1612-SPMF |
| ขนาดห้องที่มีประสิทธิภาพ | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1200mm |
| แหล่งที่มาของการสะสม | กระบอกอาร์ค (อาร์คแบบวงกลมนำทางสำหรับอุปกรณ์เสริม) + MF Sputtering Cathode + แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้น | ||
ระบบปั๊มสูญญากาศ (ปั๊ม Leybold + ปั๊มโมเลกุลโมเลกุล) | SV300B - 1 ชุด (300m³ / ชม.) | SV300B - 1 ชุด (300m³ / ชม.) | SV300B - 2 ชุด (300m³ / ชม.) |
WAU1001-1set (1000m³ / ชม) | WAU1001-1set (1000m³ / ชม) | WAU2001-1set (1000m³ / ชม) | |
| D60T- 1 ชุด (60m³ / ชม.) | D60T- 1 ชุด (60m³ / ชม.) | D60T- 1 ชุด (60m³ / ชม.) | |
ปั๊มโมเลกุลโมเลกุล: 2 ชุด (3500L / S) | ปั๊มโมเลกุลโมเลกุล: 2 ชุด (3500L / S) | ปั๊มโมเลกุลโมเลกุล: 3 ชุด (3500L / S) | |
| พาวเวอร์ซัพพลายสปัตเตอร์ | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF) | 3 * 36KW (MF) |
| เพาเวอร์ซัพพลายอาร์ค | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
| พาวเวอร์ซัพพลาย Bias | 1 * 24kW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
| แท่งดาวเคราะห์ | 6/8 | 12/16 | 20 |
| เครื่องทำความร้อน | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
| Ultimate Vacuum | 9.0 * 10-4 Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) | 9.0 * 10-4 Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) | 9.0 * 10-4 Pa (ว่างเปล่าสะอาดอุณหภูมิห้อง) |
| รอบเวลา (ขึ้นอยู่กับปั๊ม) | 40 '~ 50' ขึ้นอยู่กับวัสดุพื้นผิวและสูตรการเคลือบ | ||
| กำลังงานที่ต้องการ | 3 เฟส 4 สาย, AC380V, 50HZ, 35KW | 3 เฟส 4 สาย, AC380V, 50HZ, 120KW | 3 เฟส 4 สาย, AC380V, 50HZ, 150KW |
| น้ำเย็น | ใช่เครื่องทำน้ำเย็นอุตสาหกรรม | ||
| การแปรรูปแก๊ส (99.99%) | 4 วิธี | 4 วิธี | 4 วิธี |
| รอยเท้า (มม.) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
| น้ำหนักรวม (กก.) | 4500 | 7000 | 9000 |
| การใช้พลังงานทั้งหมด (ประมาณ) | 50KW | 110kw | 170kW |
| การใช้พลังงานจริง (ประมาณ) | 30KW | 60KW | 80KW |
เหนือพารามิเตอร์ทางเทคนิคสำหรับการอ้างอิงเท่านั้น Royal Technology ขอสงวนสิทธิ์สำหรับการผลิตขั้นสุดท้ายตามการใช้งานที่ระบุ เราให้คุณไม่เพียง แต่เครื่องเคลือบ แต่รวมถึงการแก้ปัญหาการเคลือบรวมบริการแบบครบวงจรโครงการสามารถใช้ได้
ตัวอย่างเคลือบ:
กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร
